
Блок питания для магнетронных распылительных систем
Совместно с МГТУ им. Н.Э. Баумана разработан блок питания для магнетронных распылительных систем.
Особенности:
• Быстрая реакция на дуговой пробой (0,5 мкс).
• Различные режимы стабилизации выходного напряжения:
- по напряжению;
- потоку;
- по мощности;
- импульсный режим:
- по напряжению;
- по току;
- по мощности.
• Низкие пульсации выходного напряжения менее 1%.
• Аппаратная и программная защита от короткого замыкания по входу и по выходу.
• Защита силовых ключей от короткого замыкания.
• Широкий диапазон регулирования выходного напряжения от 100 до 800 В.
• Дискретность задания выходного напряжения с шагом 1 вольт.
• Задание тока с шагом всего 10 мА.
• Низкий пусковой ток.
• Возможность управления источником питания удаленно через интерфейс rs 485.
Хотите заказать продукт?
Оставьте свои контактные данные, и мы свяжемся с Вами в ближайшее время, чтобы обсудить детали заказа.