Блок питания МРС

блок питания
для магнетронных
распылительных систем
PS-1AC-N/1000DC/1-CPS/RS
назначение и применение
Источник предназначен для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем (МРС) мощностью до 800 Вт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий. ИП изготовлен в стандартном 19 дюймовом корпусе. ИП может эксплуатироваться в составе вакуумных напылительных установок, а также в научных целях при исследовании вакуумных разрядов.
описание
Источник питания построен по схеме резонансного инвертора, преобразующего напряжение сетевой частоты в регулируемое выходное напряжение. Прибор может работать в режимах стабилизации напряжения, тока, или мощности. Входная цепь коммутирует однофазное напряжение на блок выпрямителя источника, подавая питание на блоки управления и систему охлаждения. Включение проходит за несколько секунд для плавной зарядки входной емкости инвертора через выпрямитель. Инвертор представляет собой транзисторный мост, преобразующий постоянное напряжение на входных емкостях в переменное высокой частоты. Это напряжение передается на повышающий трансформатор, который выполняет функцию гальванической развязки между входом и выходом источника. Выходной ключ передает энергию в выходную цепь, и служит для защиты источника питания от короткого замыкания, дуг, а также для реализации импульсного режима работы. Работа всех блоков контролируется платой управления, от которой подаются задающие импульсы на инвертор и выходной ключ. Кроме того, эта плата принимает и преобразует сигнал обратной связи для осуществления стабилизации по напряжению, току или мощности и сигнал защиты с выходного ключа для приостановки работы инвертора и последующим выведением на панель индикации через плату контроллера. Плата контроллера выдает сигналы для платы управления, обеспечивая интерактивное управление источником.
основные характеристики
  • Входное напряжение
    1× ~220 В, 50/60 Гц
  • Входное напряжение диапазон регулирования
    100 – 800 В
  • Тип выходного напряжения
    отрицательное постоянное/ отрицательное импульсное
  • Частота импульсов, диапазон регулирования
    1 – 100 кГц с шагом 1 кГц
  • Режимы стабилизации
    напряжения, тока, мощности
  • Точность стабилизации
    не хуже 5%
  • Корпус
    4U, 19"
условия эксплуатации
  • Температура окружающего воздуха от –10 до +25 °С
  • Относительная влажность воздуха до 95% при t +25 °С
основные характеристики
  • Входное напряжение
    1× ~220 В, 50/60 Гц
  • Входное напряжение диапазон регулирования
    100 – 800 В
  • Тип выходного напряжения
    отрицательное постоянное/ отрицательное импульсное
  • Частота импульсов, диапазон регулирования
    1 – 100 кГц с шагом 1 кГц
  • Режимы стабилизации
    напряжения, тока, мощности
  • Точность стабилизации
    не хуже 5%
  • Корпус
    4U, 19"
ПОДРОБНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
условия эксплуатации
  • Температура окружающего воздуха от –10 до +25 °С
  • Относительная влажность воздуха до 95% при t +25 °С
 

СТРУКТУРА УСЛОВНОГО ОБОЗНАЧЕНИЯ

Общая
Аккумуляторные блоки
Внешние платы
SG
X
1
XXXX
2
ХXХ
3
-XX/XX/XX
4
  1. тип ИБП
  2. номинальная мощность ИБП
  3. фазность ИБП
  4. дополнительные опции и расширения
1. Индикация и управление:
  • O – онлайн;
  • L – линейно-интерактивный.
2. Мощность ИБП:
  • от 0 до 10000 В∙А, мощность указывается в В∙А (пример: 0600 – 600 В∙А);
  • от 10000 В∙А, мощность указать в кВ∙А с индексом «K» (пример: 025K – 25000 В∙А, 800K – 800000 В∙А).
3. Фазность ИБП:
  • L11 – 1:1;
  • L31 – 3:1;
  • L33 – 3:3.
4. Дополнительные опции и расширения:
  • TW – напольного исполнения;
  • RM – стоечного исполнения;
  • MP – модульного исполнения;
  • PW – возможность параллельной работы;
  • ST – уличного исполнения;
  • TV – наличие изолирующего трансформатора.L33 – 3:3.
Примеры:
SGL0600L11
  • L – линейно-интерактивный ИБП;
  • 0600 – мощность ИБП 600 В∙А;
  • L11 – фазность ИБП 1:1.
SGO3000L11-RM/PW
  • L – линейно-интерактивный ИБП;
  • 0600 – мощность ИБП 600 В∙А;
  • L11 – фазность ИБП 1:1.
SGO800KL33-MP/TV
  • О – онлайн ИБП;
  • 800K – мощность ИБП 800 кВ∙А;
  • L33 – фазность ИБП 3:3;
  • MP – модульного исполнения;
  • TV – с изолирующим трансформатором
SGB
X
1
/X
2
3
  1. время работы, ч
  2. мощность, Вт
  3. дополнительные опции и расширения
3. Дополнительные опции и расширения:
  • RM – стоечного исполнения;
  • MP – модульного исполнения;
Примеры:
SGB1/1000-RM1
  • 1 – один час работы;
  • 1000 – мощность в нагрузке, Вт;
  • RM – стоечное исполнение.
SG
X
1
  1. тип платы
1. Обозначение типа платы расширения:
  • RLI – плата дискретных входов;
  • RLO – плата дискретных выходов;
  • SNMP – плата SNMP;
  • Ethernet – плата Ethernet;
  • RS485 – плата RS485.
Примеры:
SG-RLO
  • Плата дискретных выходов с 6-ю перекидными контактами
SG-RS485
  • Плата интерфейса RS485
SG-Ethernet/RS485
  • Плата интерфейсов Ethernet и RS485

НОМЕНКЛАТУРА СЕРИЙ

SGL0800 (0.6-08 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
-
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
-
Возможность параллельной работы
-
Номинальная мощность
1:1
SGL3000 (0.5-3 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
+
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
-
Возможность параллельной работы
-
Номинальная мощность
1:1
SGO3000 (1-3 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
+
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
-
Номинальная мощность
1:1
SGO5000 (3-5 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
+
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
+
Номинальная мощность
1:1
SGO010K (6-10 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
+
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
+
Номинальная мощность
1:1
SGO030K (10-30 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
-
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
+
Номинальная мощность
3:3
SGO120K (10-120 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
-
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
+
Номинальная мощность
3:3
SGO800K (150-800 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
-
Модульное наращивание мощности
-
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
+
Номинальная мощность
3:3
SGO125K (25-125 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
-
Модульное наращивание мощности
+
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
+
Номинальная мощность
3:3
SGO600K (50-800 кВ • А)
По способу монтажа
напольного исполнения (Tower):
+
стоечного исполнения:
-
Модульное наращивание мощности
+
Наращивание времени автономной работы батарейными модулям
+
Возможность параллельной работы
+
Номинальная мощность
3:3
Scroll